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高真空元件

产品详情介绍  
铝制高真空L型阀   XL□
 
系列/CAD动作方式轴密封形式阀形式材质法兰尺寸
XLA 气控波纹管密封单作用
(N.C.)
阀体:
  铝合金
波纹管:
 SUS316L
16~80
XLAV
(带电磁阀)
 
XLC 双作用
XLCV
(带电磁阀)
 
XLF O形圈密封单作用
(N.C.)
阀体:
  铝合金
16~160
XLFV
(带电磁阀)
 
XLG 双作用16~80
XLGV
(带电磁阀)
 
XLD 波纹管・
O形圈密封
单作用
(N.C.)
阀体:
 铝合金
波纹管:
 SUS316L
25~80
XLDV
(带电磁阀)
 
XLH 手动波纹管密封手动阀体:
 铝合金
波纹管:
 SUS316L
16~50
XLS 电磁式波纹管压力平衡单作用
(N.C.)
16, 25
特长
  • 抗氟腐蚀能力强。
  • 放出气体少。
  • 重金属污染少。

铝制快换接头装拆 高真空L型阀  XLAQ·XLDQ
 
系列/CAD动作方式轴密封形式阀形式材质法兰尺寸
XLAQ 气控波纹管密封单作用
(N.C.)
阀体:
 铝
波纹管:
 SUS316L
16~50
XLDQ 波纹管密封
O形圈密封
40,50
特长
  • 快换接头装拆 (无需工具)

不锈钢制高真空L型阀/直通阀  XM/XY
 

注)对直通型无尺寸16的阀。
系列/CAD
(L型/直通型)
动作方式轴密封方式阀形式材质法兰尺寸
XMA/XYA 气控波纹管密封单作用
(N.C.)
阀体:
  SCS13
  (相当SUS304) 
波纹管:
  SUS316L
16~80注)
XMC/XYC 双作用
XMD/XYD 波纹管
O型圈密封
单作用
(N.C.)
阀体:
 SCS13
 (相当SUS304)
波纹管:
 SUS316L
25~80
XMH/XYH 手动波纹管密封手动阀体:
 SCS13
  (相当SUS304)
波纹管:
 SUS316L
16~50注)
特长
  • 采用精密铸造一体化结构,无气体滞留。
  • 与铝制高真空L型阀XL系列的安装有互换性 (XM系列)

磁性开关   D
 
系列磁性开关种类内容
D Series 有触点的磁性开关一般 (通用型)
无触点的磁性开关一般 (通用型)

平稳出气阀   XVD
 
系列/CAD阀形式使用流体配管连接方式配管尺寸
XVD 常断
(加压通/弹簧密封)
氮气、空气、惰性气体等VCR®
Swagelok®
1/4B
特长
  • 阀与针阀一体化结构使配管缩短为原来的1/4。
  • (阀芯)座部分采用间隙隔膜,微粒子数量大幅降低。
  • 伴随主供气初期供气可进行流量调整。

门阀   XGT
 
系列/CAD使用压力范围 (Pa)使用流体门尺寸
(高×宽) (mm)
动作压力
(MPa)
XGT 大气压~1×10-6惰性气体系的真空32×222
46×236
50×336
0.45~0.6
特长
  • 对于半导体装置等场合、适合于负载锁定室和传送室以及传送室和过程室之间有门阀隔开的场合。

真空无杆气缸   CYV
 
系列/CAD使用环境压力{Pa (ABS)}缸径 (mm)
CYV 大气~1.3×10-415,32
特长
  • 真空环境内 (1.3×10-4Pa) 在搬运场合可以使用的气缸。
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